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光刻機(jī)
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EUV光刻機(jī)是中國半導(dǎo)體行業(yè)的唯一癥結(jié)嗎？
EUV光刻機(jī)只不過是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展路上需要解決的問題的一個(gè)縮影，重要的，但絕非唯一的問題。中國光刻機(jī)之殤：入華 32 年，ASML 已出貨 700 多臺(tái)，但 EUV 被美國盯死，1.2 億美元也難買
中國需要光刻機(jī)，尤其是支持先進(jìn)制程的高端光刻機(jī)。具體來說，就是 EUV （極紫外光源）光刻機(jī)。張江高科投資國產(chǎn)光刻機(jī)企業(yè)上海微電子，持股10%
張江高科通過全資子公司張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司持有“上海微電子”10.779%股權(quán)，為其第四大股東。
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